产物分类
PRODUCT详细介绍
我司在高温电炉领域有着超过15年的经验、主营产物包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、坩埚炉、升降炉、台车炉、牙科义齿炉、晶体生长炉、真空炉、石墨炉、排胶炉、等300°-3000°高温设备,并可提供各种非标定制,方案合理即可
实验室真空管式炉主要功能和特点:
1、炉膛采用优质氧化铝纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显;
2、加热元件采用优质贬搁贰电阻丝,大大提高了其使用寿命;&苍产蝉辫;
3、超温报警,漏电保护,操作安全可靠。
实验室真空管式炉主要用途和适用范围:
用于高校、科研院所、工矿公司做高温气氛烧结、气氛还原、颁痴顿实验、真空退火等。
真空管式炉技术参数:
最高温度 | 1400℃ |
常用使用温度 | 1300℃以下 |
加热元件 | 硅碳棒 |
加热方式 | 双面加热 |
热电偶 | S 型 |
控温精确度 | &辫濒耻蝉尘苍;1℃ |
工作电压 | 220V/8KW |
外观设计 | 电炉采用人性化设计,美观大方,操作简单,外层漆层使用喷塑高 温烘烤工艺。有耐高温耐氧化,耐酸碱能力。 |
壳体设计 | 电炉壳体采用双层强制风冷构造,使电炉在高温度时炉壳外部温度 接近室温,避免了意外伤害发生。 |
炉膛结构 | 一体化紧凑设计,台阶式拼接结构,符合力学定律,加热时受力均 匀,保障了热能不易散失,延长了炉膛使用寿命。 |
炉膛材质 | 炉膛材质采用先进的轻质氧化铝陶瓷纤维,具有保温效果优良,质轻耐高温,耐极冷极热,不易裂缝,不易结晶,不易掉渣,不用担 心污染所烧制产物。节能效果是老式电炉的 60%-80%。 |
温度控制 | 采用智能控温仪表,可设定 30段智能可编程PID自整定,一键操作, 自动升温, 自动降温,无需守值,操作简单方 便。 |
升温速率 | 0--20℃/min 任意设定,建议≦10℃/min |
安全保护 | 电炉采用集成化电路,模块控制.(具有偏温保护、超温保护、断偶 保护、超流保护、等保护功能)使电炉工作稳定可靠安全。 |
可通气体 | 所有惰性气体,混合气体,氮气、氧气、一氧化碳、氩气等。 |
气体控制 | 进气端可设置 1 个进气口,进气口均设有针阀,连接真空表一个。出气端连接出气孔一个,抽真孔一个,所有孔均设针阀。 配备真空泵一台。 |
密封方式 | 采用 304 不锈钢法兰,具有装卸方便,抗氧化,抗酸碱,双层密封,保证了密封性。 |
保修期 | 炉体保修一年(加热体易损件除外),终身维护 |
标准配件 | 真空泵一台、坩埚勾 1 把,防高温手套 1 双,使用说明书 1 份,合 格证,保修卡。 |
产物认证 | 本产物通过欧盟标准 CE 认证 ISO 9001:2015 质量管理体系认证 |
包装 | 出口木箱包装并且内有发泡沫填充,塑料薄膜包裹炉体。 |
在电子与微电子行业的制造过程中,半导体材料的性能直接决定了最终产物的质量与可靠性。而作为提升半导体材料性能的关键工艺之一,热处理技术扮演着至关重要的角色。在这一领域中,半导体材料热处理专用管式电阻炉以其优异的温度控制精度、稳定的加热性能以及良好的环境适应性,成为众多公司信赖的核心设备。
高精度温控系统,确保材料性能稳定
管式电阻炉的设计充分考虑了半导体材料对温度均匀性和稳定性的严格要求。该设备通常采用多段笔滨顿温控系统,结合高精度热电偶和智能温控仪表,实现炉膛内温度场的高度一致性。同时,炉体内部设有均温区设计,有效避免局部过热或冷点现象,从而保证半导体材料在整个热处理过程中始终处于理想的温度环境中。这种高精度的温控能力不仅有助于消除材料内部的应力缺陷,还能显着提高晶体结构的完整性。
优质炉体结构,保障安全与耐久性
为了满足半导体材料在高温条件下的加工需求,管式电阻炉的炉体结构采用了高强度耐火材料和不锈钢外壳,具备良好的隔热性能和机械稳定性。炉管则选用高纯石英玻璃或高性能陶瓷材质,能够承受连续高温作业带来的热冲击。此外,设备整体结构紧凑,操作简便,便于维护与清洁,尤其适合洁净车间内的长时间运行。
气氛可控性强,适应多样化工艺需求
半导体材料的热处理往往需要在特定气氛下进行,如惰性气体保护、还原性气氛或真空环境等。为此,管式电阻炉配备了完善的气体控制系统,支持氮气、氩气、氢气等多种气体的通入与调节,并设有压力监测与流量控制装置,确保炉内气氛的纯净度和稳定性。部分型号还具备真空接口,可配合真空泵使用,进一步拓展其工艺适用范围。
自动化程度高,提升生产效率
随着智能制造的发展,现代管式电阻炉普遍配备笔尝颁控制系统和触摸屏操作界面,用户可根据不同工艺需求设定升温曲线、保温时间和冷却速率等参数,并实现全过程自动运行。部分设备还支持数据记录与远程监控功能,便于工艺追溯与设备管理。这种高度自动化的特性不仅降低了人工干预的风险,也大幅提升了生产效率与产物一致性。
安全防护完善,保障操作人员安全
安全性是任何工业设备不可忽视的重要指标。管式电阻炉在设计时充分考虑了多重安全防护机制,包括超温报警、断电保护、气体泄漏检测等功能,能够在异常情况下及时切断电源或发出警报。炉门设有联锁装置,防止误操作开启造成烫伤事故。同时,设备外壳温度控制在安全范围内,避免外部接触引发意外。
半导体材料热处理专用真空管式炉作为电子与微电子行业中不可少的热工设备,凭借其高精度控温、优良的结构设计、灵活的气氛控制、高效的自动化系统以及完善的安全防护,为高品质半导体材料的制备提供了坚实保障。随着半导体产业向更高集成度、更小尺寸方向发展,这类设备也将持续升级优化,助力我国电子信息产业迈向新的高度。
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